IMPROVING THE MANUFACTURING PROCESS OF MULTI-LEVEL MICROFLUIDIC DEVICES BASED ON THE LAMINATION OF SUCCESSIVE DRY FILM PHOTORESIST LAYERS
1 : Institut Clément Ader
Institut supérieur de l'aéronautique et de l'espace [ISAE], École nationale supérieure des Mines d'Albi-Carmaux, Université Paul Sabatier (UPS) - Toulouse III, Institut National des Sciences Appliquées (INSA) - Toulouse, CNRS : UMR5312
3 rue Caroline Aigle - 31400 Toulouse -
France
2 : University of Thessaly
* : Corresponding author
Argonafton & Filellinon, 38334, Volos -
Greece